半导体超纯水监测系统全面解析 2026 年指南

完整的超纯水监测系统是半导体制造的质量保障关键。

系统组成

1. 预处理单元
2. RO 反渗透
3. EDI 电去离子
4. 抛光混床
5. 终端过滤

监测点

进水电导率、产水 TOC、电阻率、颗粒物、细菌

控制系统

PLC/SCADA 实时监控，自动报警，数据记录